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真空泵密封装置材料要求
辅助密封圈宜采用氟橡胶材料制作。若因工作温度和化学兼容性限制不能使用氟橡胶时，可采用全氟橡胶，其较高工作温度可达290度。
合金泵密封端盖的材料应予密封腔想通，或者采用防腐性能和力学性能更好的材料。提起材料泵的密封端盖采用316、316L或316Ti等材料，端盖和密封腔之间采用O型圈密封结构，当温度**过175度时，应使用柔性石墨填充的304或316不锈钢缠绕垫圈。
簧座、传动销、防转销和内部定位螺钉等其他零件应采用316或更好的材料。当硬化碳钢定位螺钉不适用工作环境时，应采用沉淀硬化不锈钢。

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